基于图像技术的微位移检测方法及其应用

• 作者: 刘伟文 赵辉
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 图像 微位移 路径匹配 边缘检测
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 385-387,405
• 页数: 4页
• 分类号: TP216.1
• 字数: 2115字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2005.02.045

摘要

为提高刚度测量中位移检测的精度,提出一种图像式微位移检测方法.该方法采用边界拟合和"路径匹配"技术,使位移量的检测精度达到了亚微米级.此微位移检测方法已用于弹性元件刚度测量仪中,并采用激光干涉仪进行标定.实验结果表明,微位移检测方法稳定性好,速度快且获得了优于0.1μm的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵辉	上海交通大学信息检测技术及仪器系	105	1032	17.0	29.0
2	刘伟文	上海交通大学信息检测技术及仪器系	26	233	9.0	14.0