桥式硅压阻器件在气压测量中的应用

• 作者: 孙宁 祝宇虹 纪军红
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻效应 桥式压阻器件 气压测量
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 实用技术
• 页码范围: 74-76
• 页数: 3页
• 分类号: TH7
• 字数: 2186字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2005.05.027

摘要

介绍了桥式硅压阻器件的工作原理、性能指标和工作特点.通过设计实例说明了压阻器件的应用方法.试验证明:这种气压器件精度高、测量范围宽、体积和普通IC芯片相同、价格低,可以广泛应用在各种气压测量和控制领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祝宇虹	哈尔滨工业大学机器人研究所	27	345	11.0	18.0
2	孙宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	16	134	8.0	11.0
3	纪军红	哈尔滨工业大学机器人研究所	12	95	6.0	9.0