柔性膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺

• 作者: 张卫平 王伟 苏宇锋 陈文元 陈晓梅
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 电磁驱动 微驱动器 Parylene
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: TP215|TM153|TP271.4
• 字数: 1480字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2005.12.005

摘要

主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺.该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起.对平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变进行了分析,并对其关键尺寸进行优化.采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈,在Parylene薄膜上电镀NiFe合金阵列,采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈文元	上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	56	274	10.0	14.0
2	张卫平	上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	57	414	10.0	19.0
3	苏宇锋	上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	5	42	3.0	5.0
4	陈晓梅	上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室	4	30	3.0	4.0
5	王伟		1	3	1.0	1.0