开关电路在微机械加速度计中的应用

• 作者: 刘晓为 刘楠 熊俊 蓝幕杰 谭晓昀 赵辉
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 开关电路 差分电容检测 前置电路 信号处理 加速度计
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 实用技术
• 页码范围: 73-75
• 页数: 3页
• 分类号: TN43
• 字数: 2187字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2005.11.026

摘要

介绍了一种用于差分电容检测前置电路的开关电路,该电路使信号易于解调而能简化信号处理电路.阐述了电路的工作原理及相关特性,在250 kHz的载波频率下,给出了Hspice仿真结果及其具体在微机械加速度计中的应用.实际结果表明:样品的灵敏度为16～25 mV/gn,非线性为0.1 %～0.5 %,满足技术要求.