N离子注入非晶碳膜的CN成键研究

• 作者: 吕宪义 李俊杰 李哲奎 林景波 盖同祥 胡超权 金哲 金曾孙 顾广瑞
• 来源期刊: 吉林大学学报（理学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: N离子注入 非晶碳膜 磁控溅射 键合结构
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 324-327
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2517字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-5489.2005.03.015

摘要

利用Raman和XPS研究N离子注入前后非晶碳膜化学键合的变化及CN成键情况.结果表明,被注入到非晶碳膜内的N与C原子结合,形成sp3 C--N,sp2 C--N 和C≡N键.随着N离子注入剂量的增加,膜内sp3 C--N键的含量相对增多,表明N离子注入更有利于sp3 C--N键的形成.