N离子注入金刚石膜方法合成的CNx膜的成键结构

• 作者: 姜志刚 曹培江 李俊杰 李哲奎 牟宗信 王欣 董闯 郑伟涛 金曾孙
• 来源期刊: 吉林大学自然科学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: N离子注入 金刚石 成键结构
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 1948字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-5489.2001.02.006

摘要

使用N离子(能量分别为10 keV,60 keV)注入金刚石膜方法合成CNx膜,用Raman 光谱和XPS光谱研究注入前后金刚石膜的成键结构.结果表明,金刚石膜经10 keV N离子注入后,在Raman光谱中出现一个较强的金刚石峰(1 332 cm-1)和一个弱的石墨峰(G带,～1 550 cm-1).而XPS N15资料显示两个主峰分别位于～398.5 eV和～400.0 eV.金刚石膜经60 keV N离子注入后,N15 XPS光谱中的主峰位于～400.0 eV;相应地,Raman光谱中的石墨峰变得较强.通过比较,对注入样品的XPS谱中N15的成键结构作如下归属:～400.0eV属于sp2C-N键;～398.5 eV则属于sp3C-N键.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑伟涛	吉林大学材料科学系	48	245	8.0	13.0
2	王欣	吉林大学材料科学系	171	884	14.0	22.0
3	金曾孙		50	462	12.0	19.0
4	李哲奎	延边大学理工学院物理系	10	58	5.0	7.0
5	董闯		198	2023	23.0	34.0
6	李俊杰		15	122	5.0	10.0
7	姜志刚		21	157	6.0	12.0
8	牟宗信		38	217	10.0	12.0
9	曹培江		4	23	4.0	4.0