退火处理Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜磁性能的研究

• 作者: 叶超群 徐政
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁性薄膜 Fe(Co)Al(Zr)O 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 898-901
• 页数: 4页
• 分类号: TB34|TB383
• 字数: 3305字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2005.06.030

摘要

采用射频磁控溅射装置在氩气氛下制备了Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜.用X射线衍射仪、透射电镜及其选区衍射来分析薄膜的微结构.用振动样品磁强计、磁导计等测量了矫顽力Hc、饱和磁化强度Ms及磁导率等磁性参数.通过退火处理研究了Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜的磁性能.Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜磁各向异性是由形状各向异性引起的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐政	同济大学材料科学与工程学院	160	2312	24.0	39.0
2	叶超群	同济大学材料科学与工程学院	5	32	2.0	5.0