热驱动微型电场传感器

• 作者: 夏善红 彭春荣 白强 陈绍凤 陈贤祥
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微型电场传感器 热驱动 有限元模拟 微细加工
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 161-163
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.054

摘要

提出了一种新型的热驱动微型电场传感器,该微型电场传感器采用MUMPs表面微细加工工艺加工,主要包括屏蔽电极、感应电极和热驱动结构三部分.其工作原理属于电荷感应式,用接地的屏蔽电极的周期运动来调制感应电极上在外部电场作用下感应的电荷,形成与外电场成正比的电流信号.用有限元法模拟了热驱动结构的驱动电压与温度、驱动位移和驱动力之间的关系,ANSYS模拟和理论计算结果表明,在±2V的驱动电压下,在实现数微牛驱动力的同时可以实现5.2μm的驱动位移,以1kHz的频率工作时,在10kV/m的外部电场强度下,感应电流超过400pA.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈贤祥	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	20	147	8.0	10.0
5	夏善红	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	111	654	14.0	18.0
6	白强	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	11	159	8.0	11.0
7	陈绍凤	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	27	268	10.0	15.0
8	彭春荣	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	23	124	8.0	9.0