纳米压痕法研究金刚石薄膜的力学性能

• 作者: 刘兵 刘峰斌 李学敏 汪家道 陈大融
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 纳米压痕 纳米划擦 力学性能 热丝化学气相沉积法
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 1539-1543
• 页数: 5页
• 分类号: TQ161.8
• 字数: 2088字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2005.12.022

摘要

用热丝化学气相沉积法在硅基体上制备了大面积硼掺杂金刚石薄膜,硼的浓度大约为2×1020/cm3.利用纳米压痕仪及其附件研究了薄膜和纳米划擦有关的力学性能.结果表明:薄膜具有较高的硬度,平均硬度约为30 GPa,弹性模量约为419 GPa;薄膜与基体的结合强度较高,薄膜发生剥落的第一次破坏力大约是4 N.比较而言,薄膜中心区域的硬度高于边缘,结合强度则相反.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘峰斌	清华大学摩擦学国家重点实验室	8	84	6.0	8.0
2	汪家道	清华大学摩擦学国家重点实验室	67	909	16.0	28.0
3	陈大融	清华大学摩擦学国家重点实验室	123	1688	22.0	34.0
4	刘兵	清华大学摩擦学国家重点实验室	242	1175	17.0	27.0
5	李学敏	清华大学摩擦学国家重点实验室	6	60	4.0	6.0