水平式隧穿磁强计的反馈控制系统设计

• 作者: 尤政 汤学华 王晓路 阎梅芝
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 隧穿效应 磁强计 控制系统 传递函数
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 278-280
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1756字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.097

摘要

分析了水平式隧穿磁强计控制系统的原理和特点;给出了反馈控制系统传递函数方框图;求出了水平式隧穿磁强计的表头、隧道效应及梳齿静电驱动等框图的传递函数.采用二阶有源带通滤波的方式来减弱外界的噪声影响,经实验验证,降低了隧道间隙的变动量,使得隧道间隙从0.4～1.6nm减少到0.9～1.1nm,满足设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尤政		175	1605	21.0	32.0
2	阎梅芝		5	22	3.0	4.0
3	汤学华		4	10	3.0	3.0
4	王晓路		2	0	0.0	0.0