隧穿磁强计驱动电压的理论计算与实验验证

• 作者: 尤政 汤学华 胡晓莉
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 隧穿效应 磁强计 微机电系统 驱动电压
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 磁微纳器件与技术
• 页码范围: 2047-2049
• 页数: 3页
• 分类号: TM93
• 字数: 2272字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.194

摘要

隧穿磁强计是一种利用量子力学中隧道效应原理研制的MEMS磁强计.在隧穿磁强计的性能参数中,驱动电压是一个很重要的参数,该值过大,可能会导致硅尖和对应电极相撞,该值过小,可能会导致不能将硅尖拉到规定的位置;本文通过对这种磁强计的质量弹簧系统进行力学分析,推导了弹性系数,根据设计尺寸计算了这种磁强计的梳齿驱动力和驱动电压的理论值,使用半导体测试仪测试了这种磁强计的实际驱动电压.结果表明:计算结果和测试结果较为一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尤政	清华大学精密仪器与机械学系	175	1605	21.0	32.0
2	汤学华	上海电机学院机械学院	19	89	5.0	9.0
3	胡晓莉	上海电机学院机械学院	11	36	4.0	5.0