衬底对溶胶-凝胶法制备ZnO压电薄膜的影响

• 作者: 崔岩 王兢 王敏锐 陈文
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 溶胶-凝胶法 002择优取向 晶态 非晶态
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳米材料及特性
• 页码范围: 321-323
• 页数: 3页
• 分类号: TN40
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.112

摘要

采用溶胶-凝胶法分别在晶态衬底Si/SiO2/Ti/Pt和无定形态衬底Si/SiO2上制备了ZnO压电薄膜.以X射线衍射仪和原子力显微镜研究了薄膜的002择优取向度和表面形貌.结果表明,采用溶胶-凝胶法在Si/SiO2/Ti/Pt和Si/SiO2衬底上都能制备出具有较好择优取向,表面粗糙度低的ZnO薄膜,而且由于Pt和ZnO的晶格失配度较小,在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上生长的ZnO薄膜形成002择优取向的退火温度低于在Si/SiO2衬底上生长的薄膜形成002择优取向的退火温度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔岩		59	332	10.0	16.0
2	王兢		81	398	9.0	14.0
3	陈文		6	46	4.0	6.0
4	王敏锐		5	141	5.0	5.0