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露点仪在半导体芯片生产中的应用
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摘要：
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高精度光电露点仪的设计
光电露点传感器
重镜
双光路
PID控制
制冷半导体
露点仪自动检定系统的开发与设计
露点仪自动检定
机器视觉数据采集
露点温度控制
模糊PID调节器
JCLY-Ⅰ型座舱露点仪的设计
座舱露点仪
露点温度
横向通风
线性测温
PID电路
凯尔文效应影响露点仪测量准确度的分析
露点仪
结露温度
露点温度
凯尔文效应
测量误差
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品牌与标准化
主办单位：
辽宁省标准研究院
出版周期：
双月刊
ISSN：
1674-4977
CN：
21-1564/T
开本：
大16开
出版地：
沈阳市皇姑区崇山东路61号
邮发代号：
8-160
创刊时间：
1981
语种：
chi
出版文献量（篇）
10145
总下载数（次）
6
总被引数（次）
5419
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