MEMS器件圆度误差纳米级测量方法研究

• 作者: 孙涛 董申 赵学森 闫永达
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: MEMS 扫描探针显微镜(SPM) 圆度 测量
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 479-481
• 页数: 3页
• 分类号: TG81
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.173

摘要

为了测量毫米以下尺寸MEMS零件的圆度参数,建立了将扫描探针显微镜(SPM)系统的原子力测头作为测量传感器,配合精密回转气浮轴系实现对待测试件进行转位的测试系统;讨论了精密气浮轴系、驱动电机、装夹调心装置等关键部件的设计问题及测量系统的工作原理.应用测试系统测量了直径约为0.2mm的微细电极外表面形貌,对获得的表面数据进行了滤波处理,最后使用最小二乘圆度评定准则计算其圆度误差为3.210μm.这种方法可以为圆形MEMS器件的制造工艺提供可行的测量方法与手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申		232	4378	35.0	50.0
2	孙涛		124	1024	17.0	23.0
3	闫永达		34	237	9.0	13.0
4	赵学森		11	49	4.0	6.0