PED沉积La-Sr-Cu-O薄膜表面的有序纳米结构

• 作者: 唐为华 张海英 李培刚 李玲红 符秀丽 陈雷明
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲电子束沉积 La-Sr-Cu-O薄膜 纳米结构
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 2843-2846
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2667字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.06.068

摘要

采用脉冲电子束沉积(PED)技术在Si(100)衬底上生长La-Sr-Cu-O薄膜,在750℃生长温度下获得具有有序纳米结构的表面形貌.采用聚集离子束(FIB)技术对获得的纳米结构进行表征,结果表明,这种有序的纳米结构是由于Si衬底和La-Sr-Cu-O薄膜之间的热膨胀系数和晶格的失配引起的纳米裂纹.在这些纳米裂纹处,La-Sr-Cu-O成核生长获得独立的纳米线.通过控制这种有序的纳米结构的生长,这种有序的纳米结构可以用来构造弱连接形成的器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海英	中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室	114	574	11.0	17.0
2	陈雷明	浙江理工大学物理系	5	10	2.0	3.0
4	李培刚	浙江理工大学物理系	20	32	3.0	4.0
7	符秀丽	浙江理工大学物理系	1	4	1.0	1.0