非晶碳/Mo2C混合膜的场发射特性

• 作者: 姚宁 张兵临 张新月 方莉俐 王朝勇 袁泽明 赵永梅 邓记才 鲁占灵
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 场发射 微波等离子体化学气相沉积 非晶碳 Mo2C
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 2005年功能材料学术年会论文集
• 页码范围: 46-47
• 页数: 2页
• 分类号: O484
• 字数: 1268字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.z1.018

摘要

以镀有Mo过渡层的A12O3衬底,在微波等离子体增强化学气相沉积(MPCVD)系统中,制备了非晶碳/Mo2C混合结构薄膜,反应气体为CH4和H2.在高真空室中测量了样品场发射特性.开启场强为0.55V/μm,在1.8V/μm电场下样品的发射电流密度为6.8mA/cm2.发射点点密度＞103/cm2.用SEM观察了表面形貌,Raman和XRD谱分析了薄膜的微观结构和成分.实验结果表明该薄膜是一种好的场致电子发射体.