Ku波段交直流分离的MEMS开关的模拟与设计

• 作者: 廖小平 朱健 蔡洁
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 阈值电压 插入损耗 反射损耗 隔离度
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 121-123
• 页数: 3页
• 分类号: TN303|TN4
• 字数: 1106字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.040

摘要

介绍了一种带直流驱动电极交直流分离的MEMS开关,研究了影响开关阈值电压的因素,运用缩腰设计、尺寸优化等方法降低开关的阈值电压,并将这种平膜开关与其他几种结构的膜开关进行比较.使用Coventor和HFSS软件模拟,设计的开关阈值电压小于20V,在Ku波段插入损耗低于0.1dB,反射损耗低于-25dB,谐振点隔离度高于40dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健		43	318	11.0	16.0