Ku-波段MEMS单刀双掷开关的设计与模拟

• 作者: 严捷 廖小平 朱健 陈洁
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 单刀双掷开关 MEMS膜开关 插入损耗 隔离度 回波损耗
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 243-244
• 页数: 2页
• 分类号: TN385
• 字数: 1716字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.084

摘要

利用Ku-波段MEMS单刀单掷膜开关和成熟的微带线技术设计了一种Ku-波段MEMS单刀双掷膜开关.模拟结果为阈值电压19V左右,工作于Ku-波段(8～12)GHz,在中心频率15GHz处,导通开关的插入损耗为-0.15dB,截止开关的隔离度为-33dB,开关的回波损耗为-27dB.