Gd掺杂PZT铁电薄膜的微观结构和铁电性研究

• 作者: 姜兆华 孙秋 王福平
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 稀土掺杂 PZT薄膜 溶胶-凝胶 微观结构 铁电性能
• 年，卷（期）: 2005,（z2）
• 页码范围: 841-844
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.9
• 字数: 2644字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185X.2005.z2.062

摘要

采用溶胶-凝胶技术制备稀土Gd掺杂的PZT(PGZT)前驱体溶胶.以(111)Pt/Ti/SiO2/Si(100)为衬底,采用旋涂法和快速热处理技术制备PGZT薄膜.X射线衍射(XRD)分析结果表明,450℃预烧,650℃快速热处理得到(100)择优取向的薄膜.用扫描电镜(SEM)对稀土Gd不同掺入量薄膜的表面形貌进行分析,薄膜的表面平整,无裂纹;用原子力显微镜(AFM)对薄膜表面的粗糙度进行分析.PGZT薄膜铁电性能测试结果表明,1%(摩尔分数,下同)Gd-PZT薄膜的剩余极化强度(2Pr)为46.373μC/cm2,经1010次极化循环后,剩余极化值减小45%;当Gd掺入量大于1%时,薄膜的剩余极化强度减小.对稀土Gd3+掺杂改性机理进行初步分析,可能是由于稀土掺入量小于1%时,稀土起施主掺杂剂作用,而施主掺杂可以明显改善PZT的疲劳特性;当稀土掺入量大于1%时,稀土起受主掺杂剂作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜兆华		152	1472	21.0	30.0
2	王福平		82	808	17.0	23.0
3	孙秋		16	107	6.0	10.0