一种真空微电子加速度传感器及其信号检测电路

• 作者: 温中泉 温志渝 黄景早
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 真空微电子 MEMS 场致发射 加速度传感器
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 205-207
• 页数: 3页
• 分类号: TH89
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.070

摘要

结合真空微电子技术、MEMS技术和传感器技术,依据冷阴极场致发射的原理,设计了一种带过载保护功能的新型真空微电子加速度传感器.介绍了传感器的工作原理,设计了传感器的信号检测电路,并通过OrCAD软件进行了模拟.初步实验结果表明:该传感器的研制是完全可行的,而且比其他传感器具有更好的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝		143	1259	18.0	26.0
2	温中泉		26	365	12.0	18.0
3	黄景早		1	4	1.0	1.0