基于Web的键合图法MEMS系统级多能量域仿真平台

• 作者: 刘旸 江平宇
• 来源期刊: 系统仿真学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 系统级建模 多能量域仿真 键合图 多通口场 结型结构
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 仿真器与仿真系统
• 页码范围: 341-346
• 页数: 6页
• 分类号: TP391.72|TM38
• 字数: 4380字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-731X.2005.02.024

摘要

通过对MEMS系统级仿真方法的研究,讨论了运用键合图法进行MEMS系统级多能量域仿真的可行性,提出了一种采用键合图/模拟框图混合表示进行MEMS动特性仿真的方法,并在该方法的基础上开发了一套基于功率键合图的MEMS系统级多能量域仿真软件平台xj_Bond.同时一个基于键合图多通口场与结型结构的微元件库(包括梁、质量块、连接点、静电叉指等微元件)也在该仿真平台上得以实现,从而更好的支持了MEMS"Top Down"设计流程,并为系统快速建模提供了方便.最后通过一个多能量域MEMS系统仿真实例对该平台的有效性进行了验证.