超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究

• 作者: 廖小华 李庆祥 李玉和 葛杨翔
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 划痕 纳米尺度 轻敲模式 外差干涉 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: 测试系统
• 页码范围: 1119-1120
• 页数: 2页
• 分类号: TG8
• 字数: 1021字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2005.08.130

摘要

电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面和亚表面无损伤性要求越来越高.为了检测纳米尺度的表面微划痕,基于原子力显微镜思想,选用硅微探针工作在轻敲模式,通过外差干涉测量振幅变化,z向反馈实现微划痕成像,构建了一套微划痕检测实验系统.初步实验表明:检测系统达到了纳米级精度,满足了划痕检测性能要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆祥	清华大学精密仪器及机械学系	84	2180	20.0	45.0
2	李玉和	清华大学精密仪器及机械学系	59	1638	16.0	40.0
3	廖小华	清华大学精密仪器及机械学系	7	34	3.0	5.0
4	葛杨翔	清华大学精密仪器及机械学系	7	48	4.0	6.0