CMOS光栅图像纳米细分技术研究

• 作者: 倪旭翔 徐进 曹向群 陆祖康
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: CMOS 光栅细分 纳米技术
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 56-60
• 页数: 5页
• 分类号: TN919.8
• 字数: 1964字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2006.03.012

摘要

光栅技术已在长度测量、角度测量、位置测量、自动检测、自动控制等诸多领域广泛应用.采用长光栅作为检测元件,但对光栅的细分不用常用的电子学细分,而是采用CMOS显微成像系统读取长光栅,并随之对光栅图形进行细分.系统由光源、光阑和聚光镜、标尺光栅、显微物镜及CMOS电子目镜组成,光栅图像进入PC机,采用软件进行细分.试验获得的光栅图形清晰,从而为利用数字图像处理技术进行细分提供可靠依据,实验研究的细分分辨力为80nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	倪旭翔	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	38	406	12.0	19.0
2	陆祖康	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	64	811	17.0	25.0
3	徐进	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	43	501	10.0	21.0
4	曹向群	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	35	283	8.0	16.0