SiCl4等离子体中的中性基团质谱测量

• 作者: 娄艳辉 林揆训 林璇英 王照奎 祝祖送
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 工学
• 关键词: 射频辉光放电 中性基团 质谱测量 可移动取样装置
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 252-256
• 页数: 5页
• 分类号: TL65
• 字数: 3560字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6086.2006.03.017

摘要

设计了一个取样位置能在射频辉光放电等离子体电极间自由移动的取样装置,用质谱计测量了SiCl4等离子体的离子信号.提出了一种线性拟合的方法用于计算SiCl4等离子体的消耗率,利用测量的离子信号,计算出了SiCl4等离子体中SiCln(n=0～2)中性基团的空间分布.实验结果表明,可移动质谱取样装置的设计是合理的;用线性拟合方法得到的等离子体消耗率和中性基团的相对密度,比以前的方法得到的更精确.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林璇英	汕头大学物理系	40	400	10.0	18.0
2	祝祖送	汕头大学物理系	5	18	3.0	4.0
3	林揆训	汕头大学物理系	29	339	9.0	18.0
4	娄艳辉	河南师范大学物理系	2	2	1.0	1.0
5	王照奎	河南师范大学物理系	3	14	2.0	3.0