超高压气体放电光源玻壳材料退火工艺研究

• 作者: 仲伟博 王琦
• 来源期刊: 光电技术应用
• 学科: 工学
• 关键词: 应力 粘度 退火温度 退火时间
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 结构与工艺
• 页码范围: 79-81
• 页数: 3页
• 分类号: TN13
• 字数: 1709字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1255.2006.05.021

摘要

通过分析石英材料粘度与温度的关系,得出了石英的退火温度范围.结合超高压气体放电光源的要求,对玻壳精密退火工艺进行研究.该工艺充分考虑了因玻壳厚度和降温造成的应力.给出了工艺参数的计算方法,增加了慢速降温阶段,减少了玻壳的剩余应力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	仲伟博		2	5	2.0	2.0
2	王琦		2	24	2.0	2.0