Bi2Ti2O7薄膜的制备及在栅场效应管中的应用

• 作者: 杨朝霞
• 来源期刊: 吉首大学学报（自然科学版）
• 学科: 化学
• 关键词: Bi2Ti2O7薄膜 介电常数 绝缘栅场效应管
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 化学化工
• 页码范围: 107-109
• 页数: 3页
• 分类号: O646.54
• 字数: 1014字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2985.2006.01.025

摘要

采用化学溶液沉积法,用价格低廉的原料成功地制备了Bi2Ti2O7介质膜.制膜过程简单,成本低廉,得到的薄膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数.用其制备的绝缘栅场效应管与相同尺寸的SiO2绝缘栅场效应管相比,前者具有较高的跨导和较低的开启电压.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨朝霞	吉首大学化学化工学院	28	265	8.0	15.0