多层介质膜光栅和介质膜反射镜抗激光损伤阈值研究

• 作者: 刘世杰 孔伟金 沈健 沈自才 范正修 邵建达
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 介质膜光栅 激光损伤阈值 电场分布 扫描电镜
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 552-556
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 3483字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.04.024

摘要

对多层介质膜光栅以及介质膜反射镜的激光损伤阈值进行了系统的研究.测试方法采用国际测试标准.测试结果表明,介质光栅的损伤阈值远低于未刻蚀的多层介质膜.对样品损伤形貌的扫描电镜照片分析发现,相比于未刻蚀的多层介质膜,介质膜光栅的初始损伤主要发生在光栅槽形的侧壁,且损伤主要是由驻波场的空间分布引起的本征吸收、制备过程中引入的杂质污染以及刻蚀过程中HfO2的化学计量机失衡引起的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
3	沈健	中国科学院上海光学精密机械研究所	10	113	8.0	10.0
4	孔伟金	中国科学院上海光学精密机械研究所	9	74	5.0	8.0
8	沈自才	中国科学院上海光学精密机械研究所	15	140	8.0	11.0
9	刘世杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	29	104	5.0	9.0