一种实用化的光控自动真空镀膜机

• 作者: 何长涛 姚德武 肖琦 赵汝进 马孜
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 镀膜机 光控
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 沉积技术与控制方法
• 页码范围: 64-68
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2267字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2006.04.014

摘要

采用分布式控制(DCS)的方法,用小型可编程逻辑控制器(PLC)替代中型PLC,提出了镀膜真空的13个子过程概念,实现了基于国产部件的真空过程自动化.以国产光控为核心,采用组态软件和控制软件结合的方法,通过经典和现代滤波技术,实现了光控自动判停,采用监控信号变化率dR/dt来控制薄膜的蒸发束率,制作了相应的分光膜和宽带增透膜,在低成本前提下提高了光学薄膜监控的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马孜		27	98	4.0	9.0
2	赵汝进	西南科技大学信息工程学院	10	40	4.0	6.0
3	肖琦		7	52	3.0	7.0
4	姚德武		4	15	2.0	3.0
5	何长涛	四川大学电子信息学院	9	39	4.0	6.0