真空镀膜机的原理及故障分析

• 作者: 依君 李爽
• 来源期刊: 中国科技投资
• 关键词: 真空镀膜机 原理 故障
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 机械与工艺
• 页码范围: 205
• 页数: 1页
• 字数: 2177字
• 语种: 中文

摘要

在现代电子工业中,真空镀膜机广泛应用于元器件的生产和研制领域,尤其是一些需要在真空条件下开展镀膜作业的元器件.本文将详细介绍真空镀膜机的特点、分类以及原理等,在此基础上对其常见故障进行分析,希望可以促进其工作效率的提升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李爽		2	0	0.0	0.0
2	依君		2	0	0.0	0.0