用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统

• 作者: 徐祖华 朱慧玲 王彦 雷运喜
• 来源期刊: 南华大学学报(理工版)
• 学科: 工学
• 关键词: PLC 硬件结构 软件结构 电流闭环控制
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 59-61
• 页数: 3页
• 分类号: TM92
• 字数: 1047字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-0062.2003.03.016

摘要

设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统,采用三菱PLC和EasyView触摸屏,具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能.文中介绍了PLC控制系统硬件与软件结构,以及对靶单元实现闭环控制,获得稳定靶电流情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐祖华	南华大学电气工程学院	22	169	7.0	12.0
2	朱慧玲	南华大学电气工程学院	23	129	5.0	10.0
3	王彦	南华大学电气工程学院	76	339	11.0	15.0
4	雷运喜	南华大学电气工程学院	3	11	2.0	3.0