Co-Ti-O纳米颗粒合金薄膜的磁阻特性

• 作者: 方昭训 赖思宇 郑文凯 陈锦山
• 来源期刊: 过程工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 颗粒合金薄膜 磁阻
• 年，卷（期）: 2006,（z2）
• 所属期刊栏目: 超微颗粒
• 页码范围: 333-337
• 页数: 5页
• 分类号: TB256
• 字数: 3547字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1009-606X.2006.z2.071

摘要

利用直流与射频磁控溅镀在二氧化硅基板上共沉积制作Co-Ti-O颗粒合金单层薄膜,并通过适当热处理,使薄膜为Co及TiOx混合结晶相.单层颗粒合金薄膜Co59.78Ti16.5O23.7/SiO2试片经1000 ℃热处理10 min,磁阻率为0.8%,而Co27.95Ti19.33O52.72/SiO2试片经1000 ℃热处理10 min,磁阻率高达4%.