微谐振传感器同频干扰的建模与消除

• 作者: 杨苗苗 毋正伟 王军波 陈健 陈德勇 陈李
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械电子系统 微谐振式传感器 同频干扰 双端激励/差分检测
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 5-6,10
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1675字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2006.08.002

摘要

主要研究了静电激励/电容拾振谐振式硅微加速度传感器的同频干扰问题,分析了几种干扰源,建立了同频干扰的电路等效模型,提出一种基于双端激励/双端检测的结构,采用二次差分的方式消除同频干扰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈健	中国科学院电子所传感技术国家重点实验室	115	1360	17.0	34.0
2	陈德勇	中国科学院电子所传感技术国家重点实验室	48	348	11.0	16.0
3	王军波	中国科学院电子所传感技术国家重点实验室	41	304	10.0	16.0
4	毋正伟	中国科学院电子所传感技术国家重点实验室	7	79	4.0	7.0
5	陈李	中国科学院电子所传感技术国家重点实验室	5	38	3.0	5.0
6	杨苗苗	中国科学院电子所传感技术国家重点实验室	2	19	2.0	2.0