AFM光杠杆系统在刻划深度控制中的应用分析

• 作者: 孙涛 胡振江 董申 郑兴华
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 三维刻划加工 光杠杆系统
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 230-234
• 页数: 5页
• 分类号: TP2
• 字数: 2483字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2006.03.012

摘要

应用AFM组建三维刻划加工系统,光杠杆系统是实现刻划深度控制的重要环节.通过分析微悬臂挠度、转角对光杠杆系统的影响,及不同刻划方向针尖扭转角对刻划深度的影响,得出以下结论:由非刚性微悬臂组成的光杠杆系统,与理想光杠杆系统存在3:2的线性检测变换关系,可采用单点标定方法对光杠杆系统进行标定;沿相对于微悬臂长轴进行横向刻划时针尖扭转角所产生的刻划深度误差,远小于沿纵向刻划所产生的刻划深度误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
2	孙涛	哈尔滨工业大学精密工程研究所	124	1024	17.0	23.0
3	郑兴华	中国科学院工程热物理研究所	11	66	4.0	8.0
4	胡振江	哈尔滨工业大学精密工程研究所	10	36	4.0	5.0