金刚石厚膜的晶界对耐磨性的影响

• 作者: 冯玉玲 姜志刚 李博 杨传经 纪红 郑涛 金曾孙
• 来源期刊: 材料研究学报
• 学科: 化学
• 关键词: 无机非金属材料 金刚石厚膜 等离子体刻蚀 晶界 耐磨性
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 255-258
• 页数: 4页
• 分类号: O6
• 字数: 2245字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-3093.2006.03.007

摘要

用直流辉光等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜,用氢的微波等离子体对其抛光截面进行刻蚀,研究了晶界对金刚石厚膜耐磨性的影响.结果表明:在金刚石膜的生长过程中,随着甲烷流量的增加,金刚石膜的晶界从纵向排列为主过渡到网状结构,晶粒内部缺陷逐渐增加,杂质、空洞主要分布于晶界处.金刚石膜的磨耗比随着晶界密度、宽度、杂质含量及晶粒内部缺陷的增加而下降.晶界是杂质、空洞主要富集区,是影响金刚石厚膜耐磨性的主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金曾孙	吉林大学超硬材料国家重点实验室	50	462	12.0	19.0
2	李博	吉林大学超硬材料国家重点实验室	92	412	11.0	15.0
3	纪红	吉林大学超硬材料国家重点实验室	13	51	4.0	6.0
4	姜志刚	吉林大学超硬材料国家重点实验室	21	157	6.0	12.0
5	冯玉玲	长春理工大学物理系	23	31	4.0	5.0
6	郑涛	长春理工大学物理系	7	10	2.0	3.0
7	杨传经	吉林大学超硬材料国家重点实验室	1	4	1.0	1.0