CVD金刚石厚膜力学性能

• 作者: 吴雪梅 汪建华 熊军 王传新 皮华滨
• 来源期刊: 武汉工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石 断裂强度 耐磨性
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 51-53,57
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 2549字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2009.01.013

摘要

CVD金刚石厚膜的力学性能对CVD金刚石厚膜刀具的寿命有重要影响.研究了微波等离子体CVD和热丝CVD法制备的金刚石膜断裂强度以及耐磨性等力学性能,利用比重测量、SEM、X-ray、拉曼光谱等方法对两种厚膜进行了测试.结果表明微波等离子体CVD制备的金刚石厚膜质量、比重和断裂强度要明显高于热丝CVD法制备的金刚石膜,并且具有更好的耐磨性.内部的空洞等缺陷以及晶界的非金刚石相碳含量较多是造成热丝CVD厚膜性能低下的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王传新	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料实验室	34	121	6.0	8.0
2	汪建华	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料实验室	123	698	14.0	19.0
3	皮华滨	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料实验室	5	27	3.0	5.0
4	熊军	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料实验室	4	35	3.0	4.0
5	吴雪梅	江苏大学江苏省薄膜材料重点实验室	2	32	2.0	2.0