稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜的刻蚀

• 作者: 王佳宇 白亦真 纪红 金曾孙 金爱子
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 化学
• 关键词: CVD金刚石厚膜 刻蚀 稀土化合物浆料
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 172-174
• 页数: 3页
• 分类号: O613
• 字数: 813字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2002.01.030

摘要

CVD金刚石厚膜具有极高的硬度,使得对其进行表面抛光极为困难.传统的机械抛光方法既不经济又耗费时间,而一些新的抛光技术又由于实验条件限制而难以推广.针对以上情况,我们寻求到一种新的化学刻蚀方法,即利用稀土化合物浆料对金刚石厚膜生长表面进行刻蚀,破坏表面的晶粒使之成为晶骸,降低表面的耐磨性,以提高表面粗糙的金刚石厚膜的抛光效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金曾孙	吉林大学超硬材料国家重点实验室	50	462	12.0	19.0
2	纪红	吉林大学物理系	13	51	4.0	6.0
3	白亦真	吉林大学超硬材料国家重点实验室	6	78	4.0	6.0
4	王佳宇	吉林大学超硬材料国家重点实验室	2	7	1.0	2.0
5	金爱子	吉林大学超硬材料国家重点实验室	1	7	1.0	1.0