基体对金刚石厚膜质量的影响研究

• 作者: 吴建鹏 湛玉龙 翁国峰 马志斌
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石厚膜 内应力 sp2C含量
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 页码范围: 5-9
• 分类号: TQ164
• 字数: 2949字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2011.05.002

摘要

采用MPCVD法在钼基体上制备金刚石厚膜,测量了等离子体发射光谱,并利用XPS、Raman和SEM对金刚石厚膜进行表征.研究了Mo原子进入金刚石中的机制及其对金刚石厚膜的影响.结果表明:除了热扩散,Mo原子还会以蒸发进入等离子体的方式进入金刚石.金刚石中的Mo原子是以Mo+4、Mo+6以及介于Mo+4-Mo+6之间的化合态存在.在沿成核面到生长面的方向上,sp2C的含量会逐渐减小;成核面的内应力表现为较小的拉应力,随着生长进入连续膜生长阶段,内应力转变为压应力并随膜厚度增加压应力大小逐渐降低,在距离成核面30 μm左右处,内应力转变为拉应力,且随着膜厚度进一步增加而缓慢增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马志斌	武汉工程大学材料科学与工程学院武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	58	189	7.0	10.0
2	翁国峰	武汉工程大学材料科学与工程学院武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	4	20	3.0	4.0
3	吴建鹏	武汉工程大学材料科学与工程学院武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	3	4	1.0	2.0
4	湛玉龙	武汉工程大学材料科学与工程学院武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	3	12	2.0	3.0