热处理对GeSb2Te4薄膜微观结构及其摩擦性能的影响

• 作者: 丁建宁 万春磊 付永忠 朱守星 范真 解国新
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: GeSb2Te4薄膜 热处理 表面电势 粘附力 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 108-112
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.44|TH117.3
• 字数: 3104字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0595.2006.02.003

摘要

利用射频溅射法制备了GeSb2Te4薄膜并对其进行热处理,分析热处理前后样品的结晶情况,用纳米硬度计测定硬度,利用静电力显微镜表征样品的表面电势,采用原子力显微镜观察薄膜表面形貌,利用侧向力显微镜对比考察了在考虑相对湿度的情况下,热处理前后GeSb2Te4薄膜的粘附力和摩擦性能.结果表明:经过退火的沉积态GeSb2Te4薄膜发生从非晶相到fcc亚稳相再到hex稳定相转变;粘附力与表面粗糙度之间没有明显的对应关系,但与样品表面自由能和表面电势有一定关系;在低载荷下GeSb2Te4薄膜的摩擦力很大程度上受粘附力支配,而在高载荷下的摩擦力受犁沟影响显著;经过340 ℃退火GeSb2Te4薄膜由于具有层状结构,呈现出一定的润滑作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁建宁	江苏大学微纳米技术研究中心	146	769	14.0	19.0
2	范真	江苏大学微纳米技术研究中心	61	532	11.0	20.0
3	万春磊	清华大学材料工程系	9	31	4.0	4.0
4	付永忠	江苏大学微纳米技术研究中心	20	79	6.0	7.0
5	朱守星	东华大学机械工程学院	8	62	3.0	7.0
6	解国新	江苏大学微纳米技术研究中心	12	37	4.0	5.0