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热处理对GeSb2Te4薄膜微观结构及其摩擦性能的影响
热处理对GeSb2Te4薄膜微观结构及其摩擦性能的影响
作者:
丁建宁
万春磊
付永忠
朱守星
范真
解国新
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
GeSb2Te4薄膜
热处理
表面电势
粘附力
摩擦性能
摘要:
利用射频溅射法制备了GeSb2Te4薄膜并对其进行热处理,分析热处理前后样品的结晶情况,用纳米硬度计测定硬度,利用静电力显微镜表征样品的表面电势,采用原子力显微镜观察薄膜表面形貌,利用侧向力显微镜对比考察了在考虑相对湿度的情况下,热处理前后GeSb2Te4薄膜的粘附力和摩擦性能.结果表明:经过退火的沉积态GeSb2Te4薄膜发生从非晶相到fcc亚稳相再到hex稳定相转变;粘附力与表面粗糙度之间没有明显的对应关系,但与样品表面自由能和表面电势有一定关系;在低载荷下GeSb2Te4薄膜的摩擦力很大程度上受粘附力支配,而在高载荷下的摩擦力受犁沟影响显著;经过340 ℃退火GeSb2Te4薄膜由于具有层状结构,呈现出一定的润滑作用.
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文献信息
篇名
热处理对GeSb2Te4薄膜微观结构及其摩擦性能的影响
来源期刊
摩擦学学报
学科
工学
关键词
GeSb2Te4薄膜
热处理
表面电势
粘附力
摩擦性能
年,卷(期)
2006,(2)
所属期刊栏目
研究论文
研究方向
页码范围
108-112
页数
5页
分类号
TG174.44|TH117.3
字数
3104字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1004-0595.2006.02.003
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
丁建宁
江苏大学微纳米技术研究中心
146
769
14.0
19.0
2
范真
江苏大学微纳米技术研究中心
61
532
11.0
20.0
3
万春磊
清华大学材料工程系
9
31
4.0
4.0
4
付永忠
江苏大学微纳米技术研究中心
20
79
6.0
7.0
5
朱守星
东华大学机械工程学院
8
62
3.0
7.0
6
解国新
江苏大学微纳米技术研究中心
12
37
4.0
5.0
传播情况
被引次数趋势
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(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
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参考文献
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节点文献
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同被引文献
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参考文献(3)
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二级参考文献(0)
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二级引证文献(0)
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节点文献
GeSb2Te4薄膜
热处理
表面电势
粘附力
摩擦性能
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
摩擦学学报
主办单位:
中国科学院兰州化学物理研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1004-0595
CN:
62-1095/O4
开本:
大16开
出版地:
甘肃省兰州市天水中路18号
邮发代号:
54-42
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
2442
总下载数(次)
5
总被引数(次)
39808
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