基于PZT微驱动的激光直写自动调焦系统动态特性分析

• 作者: 杨国光 梁宜勇 闫玮
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 微动台 动态响应 调焦系统 激光直写
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器及装置
• 页码范围: 56-60
• 页数: 5页
• 分类号: TP215
• 字数: 3341字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2006.02.012

摘要

为提高激光直写调焦系统的稳定性和响应速度,从弹性力学角度出发,对调焦执行机构微动台进行了力和位移关系的建模,并全面分析了其动态响应特性,动态特性分析为PID调节提供了理论依据.在PID校正中着重加强微分超前调节作用,缓解了系统相位滞后的问题,从而使系统得到较好的稳定度和响应速度.通过激光直写试验验证调焦系统的调焦精度为0.2μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁宜勇	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	38	190	8.0	12.0
2	杨国光	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	91	1226	21.0	30.0
3	闫玮	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	2	8	2.0	2.0