基于模糊预测的MOCVD温度控制方法

• 作者: 杜凯 赵恒 过润秋
• 来源期刊: 西安电子科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 金属有机化合物化学气相淀积 模糊预测控制 温度控制 控制算法
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 268-272
• 页数: 5页
• 分类号: TP273
• 字数: 3164字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2400.2006.02.023

摘要

为解决金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)设备温度控制的非线性、时变性以及大滞后等问题,给出了一种用模糊控制和预测控制相结合的复合控制方法.该模糊预测控制在模糊控制的基础上加入预测环节,通过增加相位超前减少时间滞后所带来的影响,准确预测温度变化趋势.与传统的控制方法相比较,具有算法简单,鲁棒性好的特点.仿真和试验表明,该方法有着较高的稳态精度和动态特性,在整个温度控制范围基本误差可达到1℃‰,有效改善了MOCVD系统温度的控制性能,对实际温度控制具有较好的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵恒	西安电子科技大学机电工程学院	29	237	9.0	14.0
2	过润秋	西安电子科技大学机电工程学院	31	374	11.0	18.0
3	杜凯	西安电子科技大学机电工程学院	4	39	3.0	4.0