基于建模与优化的MOCVD温度均匀控制

• 作者: 周峰 许力 鲁二峰
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD 温度均匀性控制 建模 仿生优化
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 页码范围: 1175-1180
• 页数: 6页
• 分类号: TP273
• 字数: 3157字
• 语种: 中文

摘要

为了提高MOCVD反应室衬底温度均匀性,提出一种基于建模和优化的控制策略.采用神经网络建立反应室温度特性模型,得到输入功率与反应室衬底温度场之间的关系,在此基础上,以温度均匀性为性能指标,采用仿生优化算法对输入功率配比进行优化,实现MOCVD反应室衬底温度的均匀控制.仿真结果验证了所提出方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许力	浙江大学电气工程学院	80	462	11.0	16.0
2	周峰	浙江大学电气工程学院	38	166	7.0	11.0
3	鲁二峰	浙江大学电气工程学院	3	18	2.0	3.0