纳米金刚石薄膜的光学性能研究

• 作者: 刘健敏 史伟民 吴南春 夏义本 崔江涛 王林军 苏青峰 蒋丽雯 阮建锋
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米金刚石薄膜 光学透过性 热丝化学气相法 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 页码范围: 195-198
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3129字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2006.03.009

摘要

用热丝化学气相(HFCVD)法在硅衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜,用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观测薄膜的表面形貌和粗糙度,拉曼光谱表征膜层结构,紫外-可见光分光光度计测量其光透过率,并用椭圆偏振仪测试、建模、拟合获得了表征薄膜光学性质的n,k值.结果表明薄膜的晶粒尺寸在100nm以下,表面粗糙度仅为21nm;厚度为3.26(m薄膜在632.8nm波长处的透过率为25%,1100nm波长处达到50%.采用直接光跃迁机制估算得到纳米金刚石薄膜的光学能隙(Eg)为4.3eV.