基于自治与协调的半导体晶圆制造系统实时派工方法

• 作者: 刘惠然 张怀 江志斌
• 来源期刊: 工业工程与管理
• 学科: 工学
• 关键词: 自治与协调 实时派工机制 动态瓶颈派工算法 响应曲面法
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 理论、方法与应用
• 页码范围: 9-14
• 页数: 6页
• 分类号: TP3
• 字数: 5161字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5429.2006.06.003

摘要

提出一种基于自治与协调的实时派工机制,并在此基础上研究面向瓶颈设备的实时派工算法,该算法针对瓶颈设备动态漂移的特性,根据不同的状态阈值采用不同的派工规则以进行控制.通过基于拓展型面向对象Petri网仿真平台的实验证明,该算法在绩效水平上优于其他两种算法.并且采用响应曲面法和期望函数对仿真结果进行优化,以获得更好的系统绩效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江志斌	上海交通大学工业工程与管理系	161	2126	22.0	39.0
2	张怀	上海交通大学工业工程与管理系	7	64	4.0	7.0
3	刘惠然	上海交通大学工业工程与管理系	2	16	2.0	2.0