硅谐振式微传感器开环特性测试与数据处理

• 作者: 杨军 樊尚春 肖志敏 蔡晨光
• 来源期刊: 宇航学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 数据处理 谐振 微传感器 开环特性
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 1102-1106
• 页数: 5页
• 分类号: V241.7
• 字数: 2591字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1328.2006.05.056

摘要

为了精确计算出硅谐振式微传感器的谐振频率、谐振峰值和品质因数,根据硅谐振式微传感器的理论模型以及开环特性测试实测数据,通过分析讨论、仿真与实验从多方面比较了低通滤波与改进的最小二乘法等数据处理算法,并得到了整体最优的算法.所设计的相应程序为硅谐振式微传感器开环特性测试系统专用数据处理程序,同时本文讨论的算法也适用于其他类似的数据处理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	161	841	15.0	21.0
2	蔡晨光	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	9	48	5.0	6.0
3	杨军	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	47	456	11.0	20.0
4	肖志敏	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	2	16	2.0	2.0