硅谐振式压力微传感器模型与开环特性测试

• 作者: 樊尚春 王莹莹 蔡晨光 邢维巍
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振式 压力传感器 频率特性 模型 MEMS
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 283-286
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 1607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.02.009

摘要

基于谐振式硅微结构压力传感器幅、相频率特性的分析,利用北京航空航天大学微传感器实验室研制的谐振式硅微结构传感器开环测试系统的测试实验结果和Matlab实验数据处理与拟和分析计算,建立了微传感器的二阶模型.该模型排除了未知相位延迟的影响,从幅值和相位混合的测试数据中精确计算出谐振频率、品质因数以及相位特性,为闭环测试系统的研制提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院微传感技术实验室	161	841	15.0	21.0
2	邢维巍	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院微传感技术实验室	48	176	7.0	11.0
3	蔡晨光	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院微传感技术实验室	9	48	5.0	6.0
4	王莹莹	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院微传感技术实验室	6	23	2.0	4.0