LaAlO3/BaTiO3/SrTiO3三色超晶格的RHEED原位监测

• 作者: 唐金龙 张鹰 朱俊 李言荣 熊杰 秦文峰 罗文博
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 LAO/BTO/STO三色超晶格 反射高能电子衍射
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 508-511
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1|TB43
• 字数: 1729字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.06.016

摘要

采用激光脉冲分子束外延技术,在(100)取向的STO单晶基片上成功外延生长了LaAlO3/BaTiO3/SrTiO3超晶格.在超晶格薄膜生长过程中采用反射高能电子衍射(RHEED)对LaAlO3/BaTiO3/SrTiO3超晶格的生长过程进行了分析.通过对超晶格中各层RHEED图像分析,发现由于各层面内晶格失配的不同,超晶格各层生长特性有所区别.借助原子力显微镜(AFM)对超晶格表面形貌进行了表征,表明制备的超晶格具有原子级平整的表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹰	电子科技大学微电子与固体电子学院	47	169	7.0	9.0
2	李言荣	电子科技大学微电子与固体电子学院	115	824	15.0	21.0
3	朱俊	电子科技大学微电子与固体电子学院	34	102	5.0	6.0
4	熊杰	电子科技大学微电子与固体电子学院	41	205	6.0	12.0
5	罗文博	电子科技大学微电子与固体电子学院	25	79	5.0	6.0
6	秦文峰	电子科技大学微电子与固体电子学院	6	63	3.0	6.0
7	唐金龙	电子科技大学微电子与固体电子学院	1	9	1.0	1.0