调研我国等离子体材料处理方面的教材情况

• 作者: 蒲以康 黄梦琦
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 物理学
• 关键词: 集成电路 等离子体刻蚀技术 人才 教材
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 4-9
• 页数: 6页
• 分类号: O53
• 字数: 6969字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.08.003

摘要

在调研世界和我国等离子体刻蚀技术的发展现状的基础上,分析我国急需培养的等离子体材料处理方面的几类不同人才;然后对培养不同人才所需要的教材提出不同的理想指标;最后根据这个理想框架,重点对市面上销售的主要中文、英文相关书籍进行分析比较,列出其主要内容和适合阅读对象,希望读者能够方便地选择出适合自己的教材.调研结果表明,中文相关书籍基本上都不适合作为教材使用,而英文相关书籍是我们值得学习借鉴的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒲以康	清华大学工程物理系	11	317	8.0	11.0
2	黄梦琦	清华大学工程物理系	1	0	0.0	0.0