外驱动双向推力型压电步进精密驱动器研究

• 作者: 刘建芳 杨志刚 杨树臣 赵宏伟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动器 精密驱动器 外驱动 双向推力 分辨率
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 652-657
• 页数: 6页
• 分类号: TN384
• 字数: 3015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.04.023

摘要

提出了一种新型的压电直线精密步进驱动器.该驱动器采用步进仿生运动的原理(Pusher),以定子箝位和定子驱动的方式实现动子被动运动.在对驱动器工作原理和机械结构分析的基础上,建立以压电叠堆为驱动元件的直线驱动数学模型,并对其结构进行了有限元分析.这种驱动器采用双向推力的结构原理,实现了在正反向与运动过程中驱动特性的一致.实验证明,以这种新型驱动方式构造的驱动器实现了箝位牢固、高频率(100 Hz)驱动、高步进速度(30 mm/min)、大行程(＞10 mm)、高分辨率(0.05μm)、大驱动力(100 N)等特点,大幅度提高了压电型步进驱动器的驱动性能,在精密运动、微操作、光学工程、精密定位等精密工程中有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志刚	吉林大学机械工程学院	234	2872	26.0	40.0
2	赵宏伟	吉林大学机械工程学院	212	1233	19.0	27.0
3	杨树臣		13	41	3.0	6.0
5	刘建芳	吉林大学机械工程学院	48	387	11.0	17.0