强吸收衬底上薄膜厚度和折射率的测量新方法

• 作者: 张竞 曹庄琪 李红根 沈启舜 陆海峰
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 膜厚 折射率 类波导结构 强吸收衬底 自由空间耦合
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 959-962
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2685字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.07.020

摘要

提出了一种同时测量强吸收衬底上薄膜厚度和折射率的方法.对生长于强吸收衬底上的透明薄膜,提出在该薄膜上镀一层薄金属,形成金属-薄膜强吸收衬底的类波导结构.由于小角度入射光在强吸收衬底上具有较强的反射率,使该结构可容纳一系列共振模.利用自由空间耦合技术和导出的共振模模式本征方程,同时确定透明薄膜的厚度和折射率.实验中测量了硅衬底上制备的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)薄膜的折射率和厚度,测量的相对误差均小于10-3.该方法具有简便、可靠、可测量任意折射率薄膜的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹庄琪	上海交通大学物理系	56	224	8.0	11.0
2	沈启舜	上海交通大学物理系	37	190	7.0	10.0
3	李红根	上海交通大学物理系	4	19	2.0	4.0
4	张竞	上海交通大学物理系	9	59	4.0	7.0
5	陆海峰	上海交通大学物理系	4	8	2.0	2.0