主轴旋转精度对晶体切割精度影响的研究

• 作者: 张改丽 靳永吉
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 旋转精度 刚度 轴向跳动 径向跳动
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 新设备与新机构
• 页码范围: 73-77
• 页数: 5页
• 分类号: TH13
• 字数: 3670字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.10.018

摘要

通过对半导体材料内圆切割机主轴旋转精度和刚度的分析,提出了提高主轴旋转精度的措施,使主轴具有极高的动静态刚性和优良的热平衡结构,减小主轴轴向跳动和径向跳动,减小刀片工作面与晶体加工面之间的相对振动,从而将切割材料表面的冲击力降到最小,避免晶体材料切割中的飞片、碎片和刀纹.